ニッケルめっきマイクロマシーニングによる熱磁化制御マイクロリレー
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概要
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通信社会の高度化と供にリレーなどの機構デバイスの小型化、集積化に対する要求が高まっている。マイクロマシーニングは超小型機構を実現できる技術として注目を集めていが、電磁コイルのような複雑な部品を作製するのが難しく、マイクロリレーの実現には至っていない。我々は熱による磁化消失を動作原理に用いることでコイルフリーとした熱磁化制御機構を提案し、ニッケルめっきを応用したマイクロマシーニングにより2mm^2サイズの熱磁化制御マイクロリレーを試作した。本報告では、試作マイクロリレーの動作原理、作製方法、および発生力について述べる。加熱用ヒータは磁化消失に可能な昇温性能を持っており、このリレーは50Hzのスイッチング動作が可能であった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-06-16
著者
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