光干渉計を用いたニッケルマイクロミラーの動作特性評価
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概要
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- 1997-12-10
著者
-
秋本 浩司
Ntt通信エネルギー研究所
-
秋元 浩司
Ntt
-
片桐 祥雅
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
片桐 祥雅
NTT光エレクトロニクス研究所
-
長岡 新二
NTT光エレクトロニクス研究所
-
本間 和晴
NTTアドバンステクノロジ
-
上西 祐司
Ntt
-
秋本 浩司
NTT光エレクトロニクス研究所
-
上西 祐司
NTT光エレクトロニクス研究所
-
長岡 新二
Ntt
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