Niマイクロマシニングによる櫛形静電駆動マイクロミラー
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概要
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Si基板上にニッケルをめっきすることにより作製されるニッケルマイクロミラーは、櫛形電極アクチュエータにより広範囲かつ高精度に駆動可能である。本ニッケルマイクロミラーの光学的特性として反射率を、機械的特性として変位および共振周波数を評価した。反射率は先球ファイバを光プローブとして測定し、約63%の反射率を得た。変位と共振周波数は、光ファイバの垂直端面とマイクロミラーにより構成されるマイクロ光共振器を用いて測定し、最大変位が約10μm、共振周波数は約1.4kHzとなり、光波制御デバイス応用に際して十分な値を得た。
- 1997-04-18
著者
-
秋本 浩司
Ntt通信エネルギー研究所
-
秋元 浩司
Ntt
-
本間 和晴
NTTアドバンステクノロジ
-
上西 祐司
Ntt
-
秋本 浩司
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
上西 祐司
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
本間 和晴
NTT アドバンステクノロジ
-
長岡 新二
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
長岡 新二
Ntt
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