マイクロモータの応用をめざした熱磁化制御アクチュエータ(TCMA)の開発
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概要
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磁気マイクロアクチュエータは動作距離が大きい,自己保持機能をもつなど,静電マイクロアクチュエータでは得られ難い有用な特徴をもつ.しかし,電磁コイルを用いた磁気アクチュエータは,構造が複雑なためマイクロ化に向かない.そこで,起磁力源に永久磁石を使い,感温磁性材料の加熱により磁力を制御することで,電磁コイルが不要な構造の新しい磁気アクチュエータ(熱磁化制御アクチュエータ)を提案し,動作原理と構成について記述する.更に,ミリサイズのねじり振動子を用いた静止トルクの測定を行い,熱磁化制御によって静止トルクが20%以下に減少し,励磁状態の磁気トルクの80%以上を発生トルクとして利用できることを示した.この実験結果をもとに,電磁制御アクチュエータに対する熱磁化制御アクチュエータの発生力を論じ,熱磁化制御方式がマイクロマシンの有効な駆動原理となりうることを示す.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-06-25
著者
-
田中 秀尚
Ntt境界領域研究所
-
田中 秀尚
日本電信電話株式会社 Nttサイバースペース研究所
-
田中 秀尚
Nttフォトニクス研究所
-
橋本 悦
NTT境界領域研究所
-
上西 祐司
NTT境界領域研究所
-
渡部 昭憲
NTT境界領域研究所
-
Tanaka H
Ntt Interdisciplinary Research Laboratories
-
Tanaka Hidenao
Ntt Integrated Information & Energy Systems Laboratories
-
Tanaka Hidenao
The Authors Are With Ntt Cyber Space Laboratories
-
橋本 悦
Ntt通信エネルギー研究所
-
上西 祐司
Ntt
-
橋本 悦
NTT 通信エネルギー研究所
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