熱磁化制御マイクロリレーの電気開閉特性
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概要
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我々は加熱による磁化消失を応用した熱磁化制御マイクロ機構を提案し, これを用いたマイクロリレーの開発を行っている。本機構の特長は, 電磁石が不要でマイクロマシニングによる作製が容易なことと, 永久磁石により自己保持性を有することである。前報ではマイクロリレーの機械的な応答特性を調べ, 電磁リレーと同等の動作速度が得られることを報告した。今回, 接点に金めっきを加えて接触抵抗の低減を図ったリレーを作製し, その電気的な特性を調べたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
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