熱磁化制御機構の低駆動電力化
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概要
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我々は加熱による磁化消失を応用した熱磁化制御マイクロ機構を提案し、これを用いたマイクロリレーの開発を行っている。前報で、本機構が電磁リレーと同等以上の速い動作が可能なことを報告した。本機構は自己保持機能により、状態維持の電力が不要である。しかし、駆動時には約20Vの駆動電圧と300mA以上のヒータ電流が必要になり、駆動電力が大きいことが欠点であった。本機構が駆動電力を必要とする原因として、基板から熱が逃げてしまうことが考えられた。そこで、基板を熱酸化膜付きのシリコンからガラスに変更したところ、駆動電力を低減することができたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
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