熱磁化制御マイクロリレーの応答時間測定
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概要
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我々は加熱による磁化消失を応用した熱磁化制御マイクロ機構を提案し、これを用いたマイクロリレーの開発を行っている。前報では機構部と信号・制御線、およびマイクロヒータを一体形成するプロセス技術の開発について報告した。今回、この技術を用いて作製したマイクロリレーの応答時間を測定したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
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