超小型光エンコーダ付きマイクロメータヘッドの試作

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概要

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• 1995-09-01

著者

• 澤田 廉士

  NTT境界領域研究所

• 大口 脩

  NTT境界領域研究所

• 中田 宏

  NTT境界領域研究所

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