カーボン薄膜のナノインデンテーション特性に及ぼす膜厚の影響
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概要
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ナノインデンテーションによる極薄膜の硬さ評価法の確立のため,RFスパッタ法によりSi基板上に種々の膜厚のカーボン薄膜を形成し,ナノインデンテーション測定を行った.膜厚が100nm以下の場合,ナノインデンテーション硬さの測定データには,膜固有の硬さに基板の硬さの影響が含まれる.本報では,ナノインデンテーション測定における荷重一変位特性への膜厚の影響について報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-12-12
著者
-
金子 健介
千葉工業大学工学部
-
廣野 滋
Mesアフティ株式会社
-
梅村 茂
千葉工業大学工学部
-
廣野 滋
エヌ・テイ・テイ・アフテイ株式会社
-
細野 隆憲
千葉工業大学
-
野々宮 聡
千葉工業大学工学部
-
田中 一作
千葉工業大学工学部
-
梅村 茂
千葉工業大学
-
廣野 滋
エム・イー・エス・アフティ株式会社
-
梅村 茂
千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科
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