CoCr膜における組成分離構造の制御と媒体ノイズ
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概要
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媒体ノイズ低減に必要なCoCr膜の磁気構造の微細化のためには, CoCr膜で生じる組成分離構造の微細, 均一化が要求される. これにはECRスパッタ法のイオンアシストパワー密度の適正化と低膜厚化が有効であることが明らかとなった. さらに, 垂直磁気記録媒体, 面内磁気記録媒体においても, 組成分離構造の微細・均一化が媒体ノイズの低減に有効であることが明らかとなった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-01-26
著者
-
越本 泰弘
Nttアドバンステクノロジ
-
前田 安
NTT基礎研
-
廣野 滋
Mesアフティ株式会社
-
廣野 滋
NTT境界領域研究所
-
前田 安
Ntt基礎技術総合研究所
-
前田 安
Ntt基礎研究所
-
梅村 茂
NTT境界領域研究所
-
廣野 滋
エム・イー・エス・アフティ株式会社
-
前田 安
電電公社茨城電気通信研究所
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