金属-カーボン系薄膜の電気的・機械的性質
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
金属ドープカーボン薄膜の成膜条件とその基礎的特性の関係を明らかにする一環として,RFスパッタ法によって成膜したNiドープおよびAgドープカーボン薄膜について,電気的・機械的性質および摩擦特性の評価を行った.その結果,Niドープカーボン薄膜およびAgドープカーボン薄膜は金属ドープ濃度の増加に伴い,導電性に優れ,耐摩耗性は劣る結果を示した.また,ノンドープカーボン薄膜と比較しNiドープカーボン薄膜は摩擦係数の増加,Agドープカーボン薄膜は摩擦係数に大きな差がないことを明らかにした.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-12-11
著者
-
廣野 滋
Mesアフティ株式会社
-
丹羽 修
産業技術総合研究所
-
鎌田 智之
千葉工業大学工学部
-
梅村 茂
千葉工業大学工学部
-
刀 東風
西安交通大学
-
松本 宏
千葉工業大学工学部
-
矢部 光範
日本自動車大学校
-
梅村 茂
千葉工業大学
-
丹羽 修
産業技術総合研 生物機能工学研究部門
-
鎌田 智之
千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科
-
刀 東風
西安交通大
-
廣野 滋
MESアフティ(株)開発部
関連論文
- カテコールアミンの電気化学検出法と生体・細胞計測への応用
- 電気化学センサーシステムを用いる脳内物質及び細胞応答の測定
- ナノカーボン薄膜電極による生体分子の検出
- ナノカーボン薄膜電極による生体分子の検出
- フッ素添加ECRスパッタカーボン薄膜の摩擦特性
- 金属-カーボン系薄膜の電気的・機械的性質
- 406 ゴムローラの摩耗予測に関する検討(加工と生産システム)
- 貴金属ドープカーボン薄膜の電気的・機械的性質
- 遷移金属ドープカーボン薄膜の電気的・機械的性質
- ランプ荷重方式による薄膜・表面のAFMスクラッチ試験法
- 化学増幅を利用した高感度バイオセンサ
- 表面プラズモン共鳴免疫測定における高特異的吸着能と非特異的吸着抑制能を有するポリイオン混合薄膜修飾
- CoCr膜における組成分離構造の制御と媒体ノイズ
- CoCr磁性薄膜における組成分離構造と媒体雑音
- 非晶質カーボン薄膜におけるCK X線発光・吸収スペクトルの特徴
- ECRスパッタ結晶性カーボン薄膜の耐熱性
- 電気化学・光デバイスを用いたバイオセンサーの高機能化
- モノリチック酵素リアクターの開発及びカテコールアミンセンサへの応用
- カーボン薄膜のAFMナノウエア試験における通電の影響
- Co-C系グラニュラー磁性薄膜
- Co-C系グラニュラー磁性薄膜
- AFMによる薄膜の機械的特性の評価方法(ナノ・マイクロトライボロジー)
- 金属ドープカーボン薄膜の電気的・機械的特性
- カーボン薄膜の機械的特性に及ぼす熱処理の影響 : (その2)AFMスクラツチ評価
- カーボン薄膜の機械的特性に及ぼす熱処理の影響(その1) : ナノインデンテーション評価
- カーボン薄膜のナノインデンテーション特性に及ぼす膜厚の影響
- チューブスキャナの円運動による AFM ナノウェア試験方法
- AFM ナノウェア評価における表面形状測定条件の影響
- ECRスパッタカーボン膜の構造と機械的・電気的性質
- AFMナノウェア評価における表面形状測定条件の影響
- AFMを用いた極薄膜の密着性と耐摩耗性の評価
- ECRスパッタ法によるカーボン保護膜
- ECRスパッタ法で作製した無添加および水素添加非晶質力ーボン膜のトライボロジー特性
- 金基板上でのグアニン塩基の酸化電流に基づくDNA量の測定(生命科学と分析化学)
- 微少量ラジアルフローセルのバイオセンサ、キャピラリ電気泳動検出器への応用
- 小特集の企画にあたって
- 摩擦力顕微鏡とその応用
- 原子間力顕微鏡による薄膜の機械的特性評価 (特集2 マイクロ/ナノトライボロジー)
- 特集「マイクロトライボロジー」(基礎から材料工学への応用)
- ECRスパッタ結晶性カーボン薄膜の耐熱性
- マイクロマシン技術を用いた微少量バイオセンサー
- マイクロマシン技術を用いた微少量バイオセンサー
- マイクロマシン技術を用いた微少量バイオセンサー
- マイナスをゼロにする仕事
- ナノメートルスケールでの薄膜・表面の機械的特性の評価
- マイクロ化センサチップの脳神経科学への応用
- マイクロ化電気化学センサー
- マイクロ化バイオセンサーを用いた神経伝達物質のリアルタイム検出
- 微小センサーによる神経伝達物質の検出
- AFMによる薄膜の耐摩耗性・密着性の評価法
- ナノカーボン薄膜を利用した機能性電極創成とバイオセンシング
- マイクロ電極(2)「マイクロバンド電極」 : 作製法, 基本特性, 応用
- ECRスパッタカーボン薄膜の電気的・機械的特性の基板種別依存性(トライポロジー及び一般)