ECRスパッタ法で形成したCoCr膜の組成分離構造
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概要
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(抄録なし)
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-12-07
著者
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前田 安
NTT基礎研
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廣野 滋
Ntt入出カシステム研究所
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廣野 滋
NTT境界領域研究所
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前田 安
Ntt基礎技術総合研究所
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前田 安
Ntt基礎研究所
-
五十嵐 賢
エス・オー・シー(株)
-
五十嵐 賢
NTT境界領域研究所
-
前田 安
電電公社茨城電気通信研究所
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