透過電顕中電子線加熱による結晶成長その場観察
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
電顕中での電子線による加熱は, 狙った部分のみを加熱できるので, 加熱ホルダーを用いるよりも温度変化が速い, 脱ガスによる真空度低下か少ないこと, 材質や条件によってはSiCやgraphiteなどの高融点の材料でも融解できるなどの利点がある. また, 観察しながら加熱できるので, 結晶成長のようすをrealtimeで観察しながら制御することができる大きな特徴を持つ. 我々は, この電子線による試料加熱を利用して, 電顕中でボロンが非品質フィラメントに結晶成長するようすとそのチューブ化をその場観察した. また, Si微粒子では, 拡散で形成したSi島の表面にSi(111)7×7と見られる表面再配列構造が10^<-7>Torr台の真空中で得られることを示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-10-25
著者
関連論文
- P01 二酸化窒素濃度モニタリングシステムの開発(II)
- 29a-ZH-1 量子ナノ分光ビームラインPF BL-1C
- 均一細孔と規則構造を有するメソポーラス材料のSurface Photo Voltage(SPV)型NO,NO_2ガスセンサーへの応用
- 集束イオンビーム(FIB)装置による部位指定TEM用試料作製
- 3L07 サブμm径SPMの分析TEMによる評価
- 25aYC-8 GaAsのGa 3d二正孔状態の共鳴光電子分光
- 28a-T-7 Si(111)表面上Ge固相エピタキシに対するサーファクタントの効果II
- 31p-S-4 Si(111)表面のGe固相エピタキシャル成長に対するsurfactantの効果
- 24a-PS-33 二次電子像によるSi清浄表面の単原子層ステップ観察
- 3a-TA-3 超高真空分析電子顕微鏡の開発
- ナノサイズ液晶ドロップレット分散ポリマーの光学特性
- ナノサイズ液晶ドロップレット分散ポリマーの光学特性
- 2a GK-4 各種結晶内原子像を無収差で撮影する方法の実現
- 26p-YP-9 遷移金属窒化物の電子エネルギー損失分光
- ゲート酸化膜のウィークスポットを検出する銅析出法
- 透過電顕中電子線加熱による結晶成長その場観察
- 2p-D-3 電顕内でのカリウム-ナノチューブインターカレーション化合物の作製
- 28p-B-1 a-Bフィラメントの電子エネルギー損失分光
- 2a-E-1 コンピュータによる微小制限視野回析法の格子欠陥解析への応用
- Co-C系グラニュラー磁性薄膜
- Co-C系グラニュラー磁性薄膜
- ナノ白金微粒子分散炭素薄膜電極のバイオセンサとしての特性
- 銅ナノ微粒子分散炭素薄膜の作製と糖類検出への応用
- 白金ナノ微粒子分散炭素薄膜の作製と電気化学センサへの応用
- 29p-A-4 単位胞内微少変位原子の電子顕微鏡法による観察
- 14a-T-5 結晶格子像解析へのディジタル処理の応用
- 29p-L-11 格子欠陥格子像のon line FTの高解像化
- 2p-U-2 高速画像計測処理装置の開発と高分解能電子顕微鏡への応用
- 27p-J-9 C_結晶の相転移のTEM観察
- 多孔質ガラスを用いたNO_2センサ
- 多孔質ガラスを用いたNO_2センサ
- 3J1200 大気レベル二酸化窒素濃度測定システムの開発(1)
- 多孔質ガラスを用いたNO_2センサ
- 超高分解能電子顕微鏡の利用技術と新展開 (〔特集〕ナノエレクトロニクス材料の高度分析技術)
- 7a-C-1 a-Ge, C_混合膜の構造解析
- 29a-G-13 a-Ge, C_混合膜の作成と評価
- 1a-C-1 C60, a-C混合膜の作成と評価
- 29p-WB-4 希土類元素を触媒とする単層チューブの合成と構造
- 28p-YK-3 Fe, Co, Niを触媒とする単層炭素ナノチューブの合成
- 15p-DH-7 希土類元素を内包したカーボン・ナノカプセルの合成と構造
- ケンブリッジ大学の滞在を終えて
- リモート電子顕微鏡と教育用ツールとしての検討
- 31p-YX-10 分析電顕による単層ナノチューブ束へのアルカリ金属のインターカレーションの分析