F-0530 フッ素化ポリカーボネートのナノ加工とその高密度メモリへの応用(J17-4 マイクロトライボロジー&プロセッシング(4))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング)
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概要
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To clarify the potential as atomic force microscope (AFM) memory media, nanometer-scale mechanical processing properties of polycarbonate and fluorocarbon plasma-treated polycarbonate were evaluated by tip sliding of AFM. The surface energy of polycarbonate can be reduced by fluorocarbon plasma treatment. Furthermore, plasma treatment of polycarbonate can reduce the processing force. Nanometer-scale precise processing of polycarbonate can be realized by fluorocarbon plasma treatment. High-density recording can be expected by nanometer-scale processing of fluorocarbon plasma-treated polycarbonate.
- 2001-08-22
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