ポリカーボネートのフッ化炭素プラズマ処理によるナノ加工の実現とその高密度記録への応用

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概要

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• 2001-10-01

著者

• 三宅 正二郎

  日本工業大学 工学部

• 松崎 圭寿

  日本工業大学 大学院

• 三宅 正二郎

  日本工業大学

• 松崎 圭寿

  日本工業大学

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