ナノ周期積層構造を有する導電性固体潤滑膜(トライボロジ, 一般)
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概要
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新しい固体潤滑膜を開発するため銀と金のナノ周期積層膜をRFスパッタリングで形成した。ナノインデンテーション試験によれば、ナノ周期積層膜は高硬度を示す。さらにボールオンディスク試験によると4-nm周期積層膜はμ=0.05の低摩擦を示し、銀、金単屠膜より長摩擦寿命を示す。また、摩擦による電気抵抗の変化は単層膜より著しく小さい。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-10-10
著者
-
三宅 正二郎
日本工業大学 工学部
-
渡部 修一
日本工業大学 工学部
-
橋爪 剛
日本工業大学 工学部
-
渡部 修一
日本工大
-
三宅 正二郎
日本工業大学 工学部システム工学科
-
渡部 修一
日本工業大学
-
三宅 正二郎
日本工業大学
-
橋爪 剛
日本工業大学工学部
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