3011 高エネルギーイオンビーム照射で形成したダイヤモンドライクカーボン膜のトライボロジー特性
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概要
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In this study, tribological properties of high energy ion implanted diamond like carbon films were studied. Nitrogen ion implanted, dynamic mixing and static mixing DLC films show the lower friction and higher wear resistance than ion plated DLC film. The effects of DLC films deposited by plasma based ion implantation on tribological properties were insufficient.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
-
斉藤 喬士
日本工業大学大学院 工学研究科
-
渡部 修一
日本工業大学 工学部
-
三宅 正二郎
日本工大
-
斉藤 喬士
日本工大院
-
渡部 修一
日本工大
-
三宅 正二郎
日本工業大学 工学部システム工学科
-
原 浩東
日本工大院
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