WS2/DLCナノコンポジット膜の形成とそのトライボロジー特性
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概要
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In recent years, diamond-like carbon (DLC) films are attracting attention as excellent tribomaterials due to their excellent characteristics, such as their high hardness, smooth surface, antiwear property, and lubrication characteristics, and they are used in various fields. However, both the friction coefficient and endurance life of DLC films are in sufficient, depending on the application environment. Therefore, in this study, with the aim of improving tribological characteristics, we fabricated WS2/DLC films by co-sputtering under various conditions, using a multicathode sputtering system, with graphite and WS2 as targets. Cross sections of the films fabricated were observed by transmission electron microscopy. In addition, the composition and structure of the films were analyzed by Raman spectroscopy and Auger electron spectroscopy. Measurement of the friction and wear characteristics of the films was performed using a ball-on-disk friction tester. As a result, we found that the films show a nano-dispersed structure, a nano-layered structure or a random-layered structure, depending on the deposition conditions. Films having a nano-dispersed structure or nano-layered structure show friction and wear characteristics superior to those of a DLC-only film.
- 一般社団法人 表面技術協会の論文
著者
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三宅 正二郎
日本工業大学 工学部
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渡部 修一
日本工業大学 工学部
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野城 淳一
日本工業大学 大学院
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渡部 修一
日本工大
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渡部 修一
日本工業大学
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野城 淳一
(株)不二越 クリーンサーモ事業部
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櫻井 貴彦
日本工業大学大学院 工学研究科
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三宅 正二郎
日本工業大学
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野城 淳一
日本工業大学大学院 工学研究科
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