3510 超格子膜の微細加工とメモリーへの応用
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概要
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Atomic scale mechanical processing of superlattice films deposited by RF sputtering was performed using an atomic force microscope (AFM). To realize high density memory, possibility of tribo memory which is consistent with nanometer scale mechanical processing of superlattice films was suggested, and processing properties of superlattice films by diamond tip of atomic force microscope were studied.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
-
三宅 正二郎
日本工業大学 工学部
-
金 鍾得
アルバック・ファイ(株)
-
三宅 正二郎
日本工業大学 工学部システム工学科
-
金 鍾得
日本工業大学大学院 工学研究科
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三宅 正二郎
日本工業大学
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金 鍾得
日本工業大学
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金 鐘得
日本工業大学工学部
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