原子間力顕微鏡によるマイカの機械的ナノリソグラフィー

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概要

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• 1997-03-01

著者

• 三宅 正二郎

  日本工業大学 工学部

• 三宅 正二郎

  日本工業大学 工学部システム工学科

• 大竹 利明

  日本工業大学工学部

• 三宅 正二郎

  日本工業大学

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