フッ化炭素プラズマ処理シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン膜の機械特性
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概要
著者
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三宅 正二郎
日本工業大学 工学部
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金 鍾得
アルバック・ファイ(株)
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三宅 正二郎
日本工業大学 工学部システム工学科
-
伴 雅人
川崎重工業株式会社
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金 鍾得
日本工業大学大学院 工学研究科
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三宅 正二郎
日本工業大学
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金 鍾得
日本工業大学
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金 鐘得
日本工業大学工学部
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伴 雅人
川崎重工業 技研
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