伴 雅人 | 川崎重工業株式会社
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概要
関連著者
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伴 雅人
川崎重工業株式会社
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伴 雅人
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藤井 貞夫
川崎重工
著作論文
- 237 電子ビーム励起プラズマ(EBEP)-CVDによるダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜のトライボロジー特性(機械要素I)
- 電子ビーム励起プラズマ(EBEP)-CVDによるDLCコーティング
- 電子ビーム励起プラズマによる微結晶シリコンの製膜
- 6. 電子ビーム励起プラズマ(EBEP)によるエッチング (ドライエッチング用プラズマ)
- フッ化炭素プラズマ処理シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン膜の機械特性