酒井 博 | (株)富士電機総合研究所

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著作論文

• 電子ビーム励起プラズマによる微結晶シリコンの製膜
• フレキシブルアモルファスシリコン太陽電池の開発
• 高電圧パルス放電化学気相成長法によるアモルファスシリコン系薄膜の作製
• 高効率・大面積アモルファスシリコン太陽電池 (太陽光発電システム)
• 27p-H-8 ECRプラズマの特性と薄膜形成
• レ-ザ-CVD法によるラジカル輸送過程とa-SiGe膜形成
• 2p-TB-11 交差ビーム衝突データのディコンボリューション
• 高効率・大面積アモルファスシリコン太陽電池 (太陽光発電システム)
• 28p-A-6 反応性ガスのアフターグロープラズマの研究(I)(28pA 放電)

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