237 電子ビーム励起プラズマ(EBEP)-CVDによるダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜のトライボロジー特性(機械要素I)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The Electron Beam Excited Plasma (EBEP) is a dense plasma efficiently generated by electron beams of 60 to 100 eV, which is optimal for gaseous ionization and excitation. Tribological characteristics of diamond-like carbon (DLC) and silicon containing DLC films deposited by an EBEP-CVD system is investigated for applications to mechanical components.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2000-06-23
著者
-
藤岡 順三
川崎重工業(株)明石技術研究所
-
藤井 貞夫
川崎重工業株式会社
-
藤岡 順三
川崎重工業
-
藤岡 順三
川崎重工業株式会社
-
藤井 貞夫
川崎重工 技研
-
小鯛 亜紀
川崎重工業(株)
-
藤岡 順三
川崎重工技研
-
伴 雅人
川崎重工業株式会社
-
龍治 真
川崎重工
-
龍治 真
川崎重工業株式会社
-
藤井 貞夫
川崎重工
-
龍治 真
川崎重工業
-
伴 雅人
川崎重工業 技研
-
小鯛 亜紀
川崎重工業 技研
-
小鯛 亜紀
川崎重工業
関連論文
- 5.金属間化合物(材料・新素材)
- B-10 TiAl金属間化合物の低サイクル疲労挙動
- Ni 基析出強化型超合金のクリープ破断寿命の化学組成からの推定方法
- 高温延性試験によるNi基析出強化型鋳造合金の電子ビ-ム溶接性の評価
- 715 クリープ破断寿命推定式とこれを用いての試算結果 : Ni 基析出強化型超合金のクリープ破断寿命の化学組成からの推定方法第 2 報(耐熱鋼・耐熱合金, 性質, 日本鉄鋼協会 第 100 回(秋季)講演大会)
- 714 クリープ破断寿命推定式作成の方針 : Ni 基析出強化型超合金のクリープ破断寿命の化学組成からの推定方法第 1 報(耐熱鋼・耐熱合金, 性質, 日本鉄鋼協会 第 100 回(秋季)講演大会)
- III. 核分裂工学
- Co基耐熱合金HA-188の高温低サイクル疲労破面
- 1-4 Inco713C の高温低サイクル疲れ強さに及ぼす試験温度と熱処理の影響
- HA-188合金の高温低サイクル疲労強度に及ぼすひずみ速度の影響(高温強度小特集)
- 1-7 HA-188 合金の高温低サイクル疲労強度に及ぼすひずみ速度の影響
- 324 Co 基超耐熱合金の熱疲労強度に及ぼす溶解法の影響(耐熱合金・委員会報告, 性質, 日本鉄鋼協会 第 87 回(春季)講演大会)
- 138 原子炉用耐熱材料のヘリウム雰囲気中におけるクリープ特性(第 1 報) : ハステロイメについて
- Hastelloy Xのクリープ特性とその設計への適用 : (高温強度小特集)
- 1-10 Hastelloy X のクリープ特性とそれの設計への適用
- ハステロイXの母材と溶接部の高温破壊と破面様相(高温強度小特集)
- レーザ溶融チル化・合金化による鋳鉄の表面改質とトライボロジー特性
- 325 GFRPの層間せん断き裂進展の超音波探査映像装置による観察(複合材料II)
- GFRPの層間せん断疲労強度(強度設計・安全性評価小特集)
- 環状流路内高熱流束加熱ガス流の熱伝達に関する実験的・解析的研究
- 相関法及びレーザーホログラフィー法による置換流及び移動微粒子の定量評価
- A-5 第3世代Ni基一方向凝固超合金の開発(材料I)
- 3E43 HIP の新しいガラスカプセル法
- 2E17 (MoSi_2-SiC)/TiAl 傾斜機能材料の残留応力解析
- 一方向凝固した Ni 基超耐熱合金のクリープ強度とγ′粒度の関係
- 694 一方向凝固した Ni 基超耐熱合金のγ'粒度とクリープ強度の関係(耐熱鋼・耐熱合金 (3), 材料, 日本鉄鋼協会第 110 回(秋季)講演大会)
- 693 一方向凝固した Ni 基超耐熱合金のγ'粒度分布の定量解析(耐熱鋼・耐熱合金 (3), 材料, 日本鉄鋼協会第 110 回(秋季)講演大会)
- A-14 産業用ガスタービン用の一方向凝固および単結晶ブレードの開発
- 597 粉体内回転型試験機によるステンレス鋼, 耐熱合金および耐熱鋳鋼の高温粉体摩耗の研究(耐熱鋼・耐熱合金, 性質, 日本鉄鋼協会 第 100 回(秋季)講演大会)
- 388 ハステロイ X の結晶粒の形状と高温強度の関係についての一考察(耐熱鋼・耐熱合金, 性質, 日本鉄鋼協会 第 98 回(秋季)講演大会)
- 220 原子炉用耐熱材料のヘリウム雰囲気中におけるクリープ特性(第 3 報) : 温度の影響
- 原子炉用耐熱合金のヘリウムふん囲気中におけるクリープ特性
- ハステロイXのクリ-プおよびクリ-プ破断特性に及ぼす結晶粒径の影響
- 空気中およびヘリウム中で高温腐食させたハステロイ X とインコロイ 800 の引張特性
- 319 原子炉用耐熱材料のヘリウム雰囲気中におけるクリープ特性(第 2 報) : Inconel 系および Incdoy 系について
- 237 電子ビーム励起プラズマ(EBEP)-CVDによるダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜のトライボロジー特性(機械要素I)
- 電子ビーム励起プラズマ(EBEP)-CVDによるDLCコーティング
- 電子ビーム励起プラズマによる微結晶シリコンの製膜
- 6. 電子ビーム励起プラズマ(EBEP)によるエッチング (ドライエッチング用プラズマ)
- フッ化炭素プラズマ処理シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン膜の機械特性
- 表面改質技術の開発とモーターサイクル・油圧機器への適用 (基盤技術特集号)
- 機械の摺動部品を対象とした材料改質技術の開発と適用事例 (材料加工技術小特集号)
- 超音波顕微鏡の金属材料評価への応用
- 積層型マイクロアクチュエータの研究
- 使用済燃料横型サイロ貯蔵方式の除熱性能評価
- 357 空気中およびヘリウム中で高温腐食させたハステロイ X とインコロイ 800 の引張特性(耐熱鋼・耐熱合金 (III)・ステンレス鋼, 性質・分析, 日本鉄鋼協会第 93 回(春季)講演大会)
- B-9 マトリックス改質C/Cコンポジットの燃焼器への適用に関する研究
- 溶接加工現象のシミュレーション技術の開発
- 高Cr鋳鉄の熱処理における残留応力の解析
- 環状流路内加熱ガス流の層流化に関する数値解析的研究
- 205 溶接加工現象の3次元シミュレーション(O.S.2-1 企業・大学等における熱工学研究の最前線(1))(オーガナイズドセッション2 企業・大学等における熱工学研究の最前線)
- ニッケルと銀ろうを用いた鋳鉄と銅合金の接合
- 28a-ZH-5 電子ビーム励起プラズマ(EBEP)における粒子エネルギー分布の制御
- 機械製品摺動部の窒化系表面硬化処理
- 走査型超音波顕微鏡と超音波探査映像装置による材料評価
- マトリックス改質されたC/Cコンポジットの熱膨張係数
- ガス圧燃焼焼結法による(MoSi2-SiC)/TiAl系傾斜機能材料の作製
- 蓄電池併設による受電電力ピークカット機能付き高機能太陽光発電システム
- EBEP(電子ビ-ム励起プラズマ)の適用技術に関する研究 (材料加工技術小特集号)
- 4. 太陽光発電システム (クリーン・エネルギーの利用)