3036 表面改質したダイヤモンドライクカーボン膜のマイクロトライボロジー
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概要
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In an effort to produce wear-resistant and lubricating surfaces, diamond like carbon (DLC) films are surface modified by nitrogen ions (N^+) implantation and CF_4 plasma treatment. The influences of surface modifications on nanoindentation hardness and tribological properties in high temperature were then investigated. CF_4 plasma treatment decreases nanoindentation hardness. In contrast, N^+-implantation increases the hardness. Tribological properties in high temperature of DLC films were improved with CF4 plasma treatment.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
-
金 鍾得
アルバック・ファイ(株)
-
斎藤 喬士
杏林大学
-
斎藤 喬士
日工大
-
三宅 正二郎
日本工業大学 工学部システム工学科
-
三宅 正二郎
日工大
-
原 浩東
日本工大院
-
原 浩東
日工大
-
金 鍾得
日工大
-
金 鍾得
日本工業大学
-
金 鐘得
日本工業大学工学部
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