Nanoprocessing of Carbon and Boron Nitride Nanoperiod Multilayer Films
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概要
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- Japan Society of Applied Physicsの論文
- 2003-03-15
著者
-
三宅 正二郎
日本工業大学 工学部システム工学科
-
MIYAKE Shojiro
Nippon Institute of Technology
-
KIM Jongduk
Nippon Institute of Technology
-
Kim J
Daewoo Electronics Co. Ltd. Kyonggi‐do Kor
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