マイクロ機構における薄膜トライボロジー (小特集 マイクロマシン)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 新樹社の論文

著者

• 三宅 正二郎

  日本工業大学 工学部システム工学科

関連論文

• BCN膜の微細構造への大気中熱処理の影響
• DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜によるゼロ摩耗,超潤滑への挑戦(トライボロジー/一般)
• シリコンのトライボケミカルナノ加工 : 放電とトライボケミカル反応の比較(トライボロジ, 一般)
• マグネトロンスパッタリングで形成したダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜による耐熱性高分子材料の摩擦低減
• ダイヤモンドの高速摺動研磨法の研究 : 第1報 : 単結晶ダイヤモンドの研磨への適用
• ダイヤモンドの高速摺動研磨 -加工点の温度と解析-
• 3033 CF_4 プラズマ処理による表面改質
• 超音波モータ用ステータを利用した砥石の研究 -第2報 : 定切込み研削特性-
• 科学解説 ナノ周期積層構造を有する超硬質膜と固体潤滑膜
• 技術解説 ニューダイヤモンドを用いたAFMによるナノ加工
• 極薄ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜のナノメータスケールの力学特性評価
• 紫外線照射処理および熱処理した磁気ディスク潤滑膜の機械特性の評価
• 極薄ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜のマイクロトライボロジー特性
• ナノ周期積層固体潤滑膜
• 単結晶シリコンのフレッチング摩擦・摩耗特性
• 表面のナノ力学特性評価(表面特性評価のためのユニーク計測技術)
• トライボロジー作用を活用したナノメータスケールの加工とその応用展開
• DLC・ダイヤモンド膜の製作技術と適用動向
• ナノメータスケールの機械加工とそのAFMメモリーへの応用 ([日本工業大学]学内特別研究および国外研修に関する特集号) -- (特集 [日本工業大学]学内特別研究)
• 単結晶シリコンおよびN[+]イオン注入シリコンのフレッチング摩耗特性
• プラズマベースイオン注入法で形成されたDLC膜のナノスケール機械特性評価
• 高分子材料同士のトライボロジー特性におけるDLC膜形成の効果
• 改質表面のトライボロジー(ナノ・マイクロトライボロジー)
• ナノメータスケールの機械加工
• ダイヤモンドライクカーボン膜の最新動向と展望
• 原子間力顕微鏡(AFM)高密度メモリｰ
• WS_2/MoS_2/C固体潤滑積層膜の形成とそのトライボロジｰ特性
• フィルタードアークイオンプレーティング法により形成したDLC膜のナノメータスケールの機械特性
• 3014 金属を含有したダイヤモンドライクカーボン膜の潤滑特性
• ダイヤモンドライクカーボン膜と炭化ボロン膜のスクラッチ特性に与えるイオン注入の効果
• 潤滑膜形成磁気ディスクのトライボロジー特性の表面温度依存性
• フッ化炭素プラズマ処理シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン膜の機械特性
• レーザ後処理によるプラズマ溶射超伝導膜の作成
• ダイヤモンドスライダーによる磁気ディスクの摩耗低減
• ダイヤモンドの高速摺動研磨 : 第2報 (高能率砥粒レス研磨の条件)
• MoS_2添加PTFE複合材で潤滑した球面軸受の潤滑特性
• 各種硬質膜形成チップによる微細加工とそのナノスライダへの応用
• 原子間力顕微鏡による層状結晶材料のナノプロセッシングとその高密度記録への応用
• 原子間力顕微鏡によるマイカの1nm深さの標準スケールの形成
• 超硬質膜を成形したチップによるナノ機械加工
• 潤滑膜形成磁気ディスクの摩擦耐久性の温度依存性
• 高エネルギーイオンを用いて形成したダイヤモンドライクカーボン膜のマイクロトライボロジー特性
• ナノ周期積層構造を有する導電性固体潤滑膜(トライボロジ, 一般)
• 低エネルギービーム照射による磁気記録用磁性膜の表面改質
• 2424 ナノ周期固体潤滑積層膜のトライボロジー
• 2423 高分子上に形成した DLC 膜の摺動特性
• 金属添加DLC膜のスクラッチ特性
• TOF-SIMSによる磁気ディスク摩擦面の解析(第2報) : 潤滑油の分解に対するスライダ材質の影響
• 炭素/窒化ホウ素固体潤滑超格子膜の形成とそのトライボロジー特性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• 窒素イオンビーム照射したDLC膜の機械的特性
• F-0227 ダイヤモンドライクカーボン膜形成プラスチックのトライボロジー(S35-4 薄膜の開発・評価)(S35 トライボロジーと機械要素の新たな展開)
• 3035 軟質金属とカーボンを積層させた超格子薄膜のトライボロジー
• 3011 高エネルギーイオンビーム照射で形成したダイヤモンドライクカーボン膜のトライボロジー特性
• ナノ周期積層膜によるトライボロジー特性の改善 (特集1 ナノテクノロジー)
• ナノカーボンのトライボロジー (特集1 ナノテクノロジー)
• カーボン系材料を用いたナノ加工 (特集2 カーボン系薄膜)
• マイクロ機構における薄膜トライボロジー (小特集 マイクロマシン)
• 半導体製造におけるトライボロジー部のコンタミネーションコントロール (特集1 半導体製造プロセス)
• 解説 最近のトライボロジー--マイクロ・ナノトライボロジーとスマート・トライボ・システム
• 薄膜材料とその活用事例 (特集 トライボマテリアル) -- (新材料とその活用事例)
• 3036 表面改質したダイヤモンドライクカーボン膜のマイクロトライボロジー
• カーボン系薄膜のマイクロトライボロジーとその情報機器への応用の可能性
• シリコンの水による境界潤滑条件下の摩耗損傷と接触応力の関係
• フォースモジュレーション法による磁気ディスク表面の動的変形特性評価(トライボロジ, 一般)
• フォースモジュレーション法による磁気ディスク表面の動的変形特性評価
• フォースモジュレーション法によるPFPE(Perfluoropolyetther)を塗布した磁気ディスクの動的変形特性
• レーザによるCVDダイヤモンドバー材加工
• ダイヤモンドのレーザアシスト熱化学加工に関する基礎的研究
• cBNコーテッドタップの試作およびその加工特性
• 原子間力顕微鏡によるマイカのナノメータスケールの機械加工
• クリーン環境のトライボロジー(第2報)-ダイヤモンドライクカーボン膜形成による発塵低減効果-
• クリーン環境のトライボロジー(第1報)-炭化ケイ素系セラミックス材料からの発塵特性-
• シリコンのトライボケミカルナノ加工 : 放電とトライボケミカル反応の比較
• Nanoprocessing of Carbon and Boron Nitride Nanoperiod Multilayer Films
• 形状記憶合金薄板のレーザ切断
• Mechanical Nanoprocessing of Layered Crystal Structure Materials by Atomic Force Microscopy
• メカノケミカル反応によるシリコンのナノメータ隆起・除去加工とそのエッチングマスクへの応用
• F-0529 トライボケミカル反応によるナノメータスケールのマスク形成(J17-3 マイクロトライボロジー&プロセッシング(3))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング)
• 3511 層状材料のナノ加工特性
• 3510 超格子膜の微細加工とメモリーへの応用
• シリコンのナノメータ隆起と除去加工
• 原子間力顕微鏡(AFM)によるメカノケミカル隆起加工
• 表面改質
• 表面改質(成膜)技術への導入
• ナノ周期積層膜の磨耗特性を活用したナノ加工技術の開発
• 液体中レーザ加工による金属箔材の精密切断
• DLC膜, cBN膜のトライボロジーとその応用(最先端薄膜技術)
• 超硬質膜の形成とマイクロトライボロジー
• 低エネルギービーム照射した磁性膜のマイクロ摩耗特性
• 原子間力顕微鏡(AFM)を用いたナノ加工技術
• 原子間力顕微鏡(AFM)によるシリコンのマイクロ隆起加工
• 窒化炭素/窒化ホウ素超格子積層膜の形成とそのマイクロトライボロジー特性
• 窒素イオン注入ダイヤモンド膜の高温環境下でのトライボロジー
• 日本工業大学 表面工学研究室
• ボロン,炭素,窒素三元素系硬質薄膜の形成とそのトライボロジー特性
• 超硬質薄膜のマイクロ摩耗特性
• 磁性膜のフッ化炭素ビーム処理によるマイクロトライボロジー特性改善効果
• 耗らない膜(膜の機能発見)
• 窒素プラズマ,窒素含有カーボン膜形成複合処理磁性薄膜のマイクロトライボロジー
• イオンビームによるCo-Cr-Ta系磁性薄膜の表面改質

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク