3035 軟質金属とカーボンを積層させた超格子薄膜のトライボロジー
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概要
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Carbon and soft metals super lattice films were deposited by RF sputtering. Super lattice films were deposited by control of the opposing time of substrate to each soft metal and carbon targets respectively. Nono-indentation hardness of multi layered, carbon, soft metals films were evaluated. The hardness of (C/Au) multi-layered film of 4nm period is the highest. Multi layered film of proper composition has superior hardness. From the evaluation of oscillatory scratching test, nano-scratching test and reciprocating friction test, friction of multi layered film is lower than those of carbon and soft metals films. Damage of multi-layered film is especially small.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
-
渡部 修一
日本工業大学 工学部
-
渡部 修一
日本工大
-
三宅 正二郎
日本工業大学 工学部システム工学科
-
関根 幸男
日本工業大学大学院 工学研究科
-
関根 幸男
日工大
-
三宅 正二郎
日工大
-
渡部 修一
日工大
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