原子間力顕微鏡によるマイカのナノメータスケールの機械加工
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1997-03-05
著者
-
三宅 正二郎
日本工業大学 工学部
-
石井 正紀
東海大学外科
-
三宅 正二郎
日本工業大学 工学部システム工学科
-
石井 正紀
日本工業大学大学院
-
大竹 利明
日本工業大学工学部
-
三宅 正二郎
日本工業大学
-
津嶋 尚武
日本工業大学大学院
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