2921 UV レーザによる脆性材料の微細形状創成の試み
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概要
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This paper describes a trial for the micro-structure machining of brittle materials by means of UV laser, whose wave length is 355nm. Grooving by the UV laser was executed for alumina ceramics and LiNbO_3 to search cutting conditions for crack free cutting. As a result, the region of such cutting conditions was presented on a map with energy/pulse and pulse/length in the horizontal and the vertical axis, respectively. Using the cutting condition in the region, a slit for waterjet mask machining was made on alumina ceramics plate successfully. The width of the slit was 50μm. Furthermore, a linear protuberance for optical devices was made on LiNbO_3. However the shape of the structure was not enough smooth for an optical device.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-08-05
著者
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