波長走査干渉計による多面干渉計測手法の開発
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概要
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波長走査干渉計にて, 任意の高調波信号の位相を検出可能であり, 波長走査の非線形性などによる周波数変調誤差に対する補償能力を有する位相検出アルゴリズムを開発した. これにより, 複数の透明で両面が平行な層からなる積層試料の, 各界面の形状と各層の光学的厚さ変動を, 不確かさ1/10以下で同時に測定可能であることを示した.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2005-05-05
著者
-
光石 衛
東京大学大学院工学系研究科
-
割澤 伸一
東京大学大学院工学系研究科
-
割澤 伸一
東京大学 大学院工学系研究科産業機械工学専攻
-
割澤 伸一
東京大学大学院
-
割澤 伸一
東大 大学院
-
日比野 謙一
産業技術総合研究所
-
花山 良平
東大工
-
花山 良平
東京大学大学院
-
BURKE Jan
CSIRO
-
OREB Bozenko
CSIRO
-
光石 衛
東京大学大学院
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