29p-P-3 熱アニールによるシリコン表面欠陥回復過程の高温STM"その場"観察
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1994-03-16
著者
-
植杉 克弘
北海道大学電子科学研究所
-
吉村 雅満
豊田工業大学ナノハイテクリサーチセンター
-
八百 隆文
東北大学金属材料研究所
-
植杉 克弘
広島大工
-
吉村 雅満
広島大工
-
八百 隆文
広島大工
-
植杉 克弘
北大 電子科研
-
八百 隆文
東北大 学際科学国際高等研究セ
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