27pC3 アルゴンスパッタ非晶質Si膜の固相エピタキシ過程のSTM観察(気相成長III)
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1993-07-10
著者
-
八百 隆文
東北大金研
-
植杉 克弘
北海道大学電子科学研究所
-
吉村 雅満
豊田工業大学ナノハイテクリサーチセンター
-
吉村 雅満
広島大学工学部
-
八百 隆文
東北大学金属材料研究所
-
植杉 克弘
広島大学工学部
-
八百 隆文
広島大学工学部
-
植杉 克弘
北大 電子科研
-
八百 隆文
東北大 学際科学国際高等研究セ
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