水素吸着Si(001)表面の熱アニールによる再結晶化過程
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1996-09-13
著者
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吉村 雅満
豊田工業大学ナノハイテク研究センター
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吉村 雅満
豊田工業大学
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上田 一之
豊田工業大学ナノハイテクリサーチセンター
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上田 一之
豊田工業大学 ナノハイテクリサーチセンター
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吉村 雅満
豊田工業大学ナノハイテクリサーチセンター
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