電子励起イオン脱離実験による真空の質の検討
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概要
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Electron stimulated desorption is very sensitive to the gas adsorption layer on solid surfaces.<BR>In particular, it is one of the most powerful techniques for detection of hydrogen on a surface contaminated by hydrogen and water vapor. Here, we report a relation between the quality of the vacuum and surface contamination based on the results of adsorption and desorption studies of hydrogen, water vapor and oxygen on silicon and metal surfaces.
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