マイクロコンピュータのオージェ分析への応用
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概要
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A personal computer is applied to Auger analysis by means of an energy analyser with 3-grid LEED-AES system in order to get a rapid scanning. The personal computer adopted here is PET 2001-8 (Commodore) which has a CPU of R6502 and 8K bite RAM. Signal from a lock-in-amp, against a step-like retarding potential was digitized by A/D converter or V/F converter in a certain sampling time. A software and hardware are shortly described. A quality of Auger spectra depends on a time constant of lock-in-amp., sampling time, the number of a moving average and so on. An example of an application of this system to an evaporating process of Ti/SUS304 is shown.
- 日本真空協会の論文
著者
-
上田 一之
豊田工業大学 ナノハイテクリサーチセンター
-
飯田 修
阪大工
-
橋本 初次郎
大阪大学工学部応用物理
-
上田 一之
大阪大学工学部応用物理学科
-
飯田 修
川崎製鉄株式会社勤務
-
上田 一之
大阪大学工学部
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