LOCOS分離の限界とトレンチ分離の問題点

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概要

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• 1997-12-04

著者

• 塩沢 勝臣

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 塩沢 勝臣

  三菱電機(株)

• 大石 敏之

  三菱電機株式会社

• 大石 敏之

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 大石 敏之

  三菱電機(株)

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