塩沢 勝臣 | 三菱電機(株)
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概要
関連著者
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塩沢 勝臣
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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塩沢 勝臣
三菱電機(株)
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塩沢 勝臣
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
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徳田 安紀
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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大石 敏之
三菱電機株式会社
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大石 敏之
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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大石 敏之
三菱電機(株)
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徳田 安紀
三菱電機 先端技術総合研
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佐山 弘和
三菱電機ulsi技術開発センター
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古川 泰助
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
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三浦 成久
三菱電機先端技術総合研究所
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古川 泰助
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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三浦 成久
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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阿部 雄次
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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杉原 浩平
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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中畑 匠
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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丸野 茂光
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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阿部 雄次
三菱電機先端総研
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丸野 茂光
三菱電機株式会社先端総研
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佐山 弘和
ULSI技術開発センター
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佐藤 真一
兵庫県立大学大学院工学研究科
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内田 哲也
(株)ルネサステクノロジ
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佐山 弘和
三菱電機(株)ULSI開発研究所
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堀田 勝之
Ulsi技術開発センター
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黒井 隆
Ulsi技術開発センター
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犬石 昌秀
株式会社ルネサステクノロジ 先端デバイス開発部
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犬石 昌秀
株式会社ルネサステクノロジ
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井上 靖朗
(株)ルネサステクノロジ先端デバイス開発部
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井上 靖朗
(株)ルネサステクノロジ
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伊藤 康悦
ULSI技術開発センター
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梅田 浩司
ULSI技術開発センター
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内田 哲也
ULSI技術開発センター
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後藤 欣哉
ULSI技術開発センター
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井上 靖朗
ULSI技術開発センター
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佐藤 真一
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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犬石 昌秀
ULSI技術開発センター
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梅田 浩司
(株)ルネサステクノロジ ウェハプロセス技術統括部
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村上 隆昭
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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須賀原 和之
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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後藤 欣哉
株式会社ルネサステクノロジ
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村上 隆昭
三菱電機(株)
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須賀原 和之
三菱電機(株)
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安村 賢二
三菱電機(株)
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佐山 弘和
三菱電機(株)
著作論文
- 内壁酸化およびゲート酸化にランプ酸化法を用いたシャロートレンチ分離による逆ナローチャネル効果の抑制
- ED2000-133 / SDM2000-115 / ICD-2000-69 サブ0.1μmCMOS技術 : エレベイテッドソース・ドレイン技術を中心に
- ED2000-133 / SDM2000-115 / ICD2000-69 サブ0.1 μm CMOS技術 : エレベイテッドソース・ドレイン技術を中心に
- ED2000-133 / SDM2000-115 / ICD2000-69 サブ0.1μm CMOS技術 : エレベイテッドソース・ドレイン技術を中心に
- シミュレーションを用いた超微細トレンチ分離開発
- LOCOS分離の限界とトレンチ分離の問題点