DSMC法による半導体薄膜成長シミュレーションの高速化
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 日本計算工学会の論文
- 1996-05-29
著者
-
玉置 直樹
(株)東芝 セミコンダクター社SoC研究開発センター
-
江頭 靖幸
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
小宮山 宏
東京大学大学院工学系研究科 化学システム工学専攻
-
玉置 直樹
(株)東芝研究開発センター
-
立田 真一
(株)東芝研究開発センター
-
江頭 靖幸
東京大学大学院工学系研究科化学システム工学専攻
-
佐藤 裕輔
(株)東芝研究開発センター
-
佐藤 裕輔
東芝研究開発センター
-
佐藤 裕輔
(株)東芝
-
江頭 靖幸
大阪大 大学院基礎工学研究科
関連論文
- 「3D変化の時代、本質を掴む・見抜く」スッキリ・メソッド公開 東大式「モヤモヤ感、思考停止」の悩み解決 (日本一の「思考の整理術」大公開 頭を掃除する!)
- 環境問題, 今昔
- 14nmゲートCMOS技術 : poly-SiGe ゲート電極、及びNiSiを用いた低温プロセスによる性能向上
- 対談 グローバルサステイナビリティのための知の連携 (総集編 「サステナ」は何を伝えてきたのか) -- (サステナの眼 総集編)
- 課題解決で日本を再生しよう
- 乾燥地における焼成ボーキサイトの土壌改良材としての利用
- 環境化学工学
- 低炭素社会の姿
- 「3D変化の時代、本質を掴む・見抜く」スッキリ・メソッド公開 東大式「モヤモヤ感、思考停止」の悩み解決 (思考の超整理術--東大式、脳科学……効果10倍メソッド)
- TOP INTERVIEW 小宮山宏/三菱総合研究所理事長、前東京大学総長
- IR3Sによるサステイナビリティ学の創生とグローバル・メタネットワークの形成
- 特別講演 行動の構造化による低炭素社会の実現 (サステナの眼 地球温暖化問題 議論から行動へ(前編))
- サステナの眼 徹底討論 温暖化問題--ポスト京都議定書を見据えた日本の戦略(後編)遅すぎはしないか(Is it too late?)
- サステナの眼 グローバルサステイナビリティのための知の連携
- 真夏の東京の気温日変化パターンの抽出 : 統計手法によるヒートアイランド現象の把握
- 都市ヒートアイランド対策技術の検討 : 東京の気温上昇の現状と要因分析
- 水蒸気添加によるメタン燃料固体電解質型燃料電池のアノード反応機構
- 何をどうやる, 技術立国日本
- 世界の白い雲になるには (「坂の上の雲」日本人の奇跡) -- (大特集 私の中の「坂の上の雲」)
- TEOS/O_3系常圧熱CVDによるSiO_2初期成膜過程のAFM・XPSによる観察と形態変化メカニズム
- 第29回「グローバル・システムと文明」研究会 21世紀の世界システムをどう見るか
- 新産業の創造 環境、エネルギー、高齢化の課題解決先進国になる (特集 2011年 新たな成長に踏み出す)
- 化学工学系2回生へのPBL教育に対するアウトカムズの持続的評価
- テーマの自主設定に特に注力した化学工学系2回生へのPBL教育とその効果
- 乾燥地植林による炭素固定システム構築 : 土壌構造改良による炭素固定促進
- 銅-シリコン溶液を用いた太陽電池用多結晶シリコン薄膜の製造プロセスの設計とコスト評価
- 太陽光発電システムのライフサイクルアセスメント
- 環境化学工学
- リン酸処理したH-ZSM-5触媒を用いたプロピレン高選択性によるMethanol-to-olefin反応
- BaCeO_3電解質を用いた固体酸化物燃料電池燃料極反応機構の解析
- CVD薄膜生成時の反応ガス濃度分布可視化 : 化合物半導体Inp薄膜生成シュミレーションの例
- DSMC法を用いたCVDステップカバレッジシミュレーションの高速化
- DSMC法による半導体薄膜成長シミュレーションの高速化
- 土壌熱源型ヒートポンプ式地域冷暖房システムの西新宿地区におけるフィジビリティーと夏季廃熱削減効果
- SiH_4/Si_2H_6を用いた選択的シリサイド化によるCu配線酸化防止用CoSi層の形成
- 環境化学工学
- 東京大学前総長 小宮山宏氏に聞く
- 環境化学工学
- 日本のR&Dのあり方を考える
- メソポーラスシリカ薄膜の蒸気合成
- 半導体層間絶縁膜としての周期構造ポーラスシリカ膜の合成
- 特別対談 日本の課題解決へ民間の知恵を結集する TM研究会 小宮山宏(東大前総長)&永野芳宣 情報を持っているのはやはり企業経営者
- 資源・エネルギー分野における化学の役割 (創刊40周年記念企画 今後10年間に化学が果たすべき課題)
- 都市ヒートアイランド現象が地温に与える影響 : 東京都内における観測結果
- 地下温度に現れたヒートアイランドの影響
- 地下ヒートシンク冷房を利用した新しいヒートアイランド対策の提案とその可能性の検討
- 第32回「グローバル・システムと文明」研究会 戦後日本にとって「アメリカ」とは--生活文化の中のアメリカ・イメージ
- 公共測定データを利用した東京湾の生物生産と栄養塩動態の関係の把握
- (99)テーマの自主設定に特に注力した化学工学系2回生へのPBL教育とその効果 : テーマの自主設定と表示・討論スキルに注力した2回生へのPBL教育(第1報)(第27セッション 工学教育の個性化・活性化システム(II))
- (360)化学工学PBLアウトカムズの持続的評価(その1) : テーマの自主設定と表示・討論スキルに注力した2回生へのPBL教育(第5報)(セッション106 工学教育の個性化・活性化VII)
- 3次元コンピュータシミュレーションを利用したCVD装置設計 - ガスアウトレットの効果 -
- WSix-CVDプロセスの3次元装置シミュレーション
- 1. CVD レビュー序論
- WSix薄膜CVDプロセスの反応機構解析と制御
- TiCl_4/NH_3を原料としたTiN薄膜CVD合成の反応機構
- WSi_x-CVDプロセスの反応機構 : WF_6/SiH_4,WF_6/Si_2H_6反応系の比較
- WF_6/Si_2H_6によるWSi_xブランケットCVDのモデリングとシミュレーション
- H_2, SiH_4, Si_2H_6添加によるDCS-WSix-CVDプロセスの改善
- 三菱総合研究所理事長 小宮山宏 日本が直面する課題の解決は、他の先進国や新興国の参考になる。今こそ日本モデルを構築するとき (環境と経済の両立へ、日本モデルは世界のモデルになる 三菱総合研究所理事長小宮山宏が語る「日本は課題解決先進国で!」)
- 新規ガスフローZMC法による太陽電池用シリコン薄膜の作製
- 地球持続の技術 : 石油学会年会における特別講演より
- 知識の構造化と大学の特化
- 持続可能な化学技術と情報基盤の重要性
- セミナー 世界の環境と日本 先進国の新産業創出が重要
- 人に教えたくない店(428)小宮山宏
- 国際競争時代の大学 (特集テーマ 国際競争時代の大学)
- 世界における日本のリーダーシップ--「課題解決先進国」日本 (日本の強み--新しい価値の創造に向けて)
- 第30回「グローバル・システムと文明」研究会 ポスト・モダンの世界システム
- 地球環境問題
- 地球環境
- 金属ナノ粒子/ミクロ孔炭素複合体の合成 (特集1 未来を創出するナノプロセッシング)
- 99 化学工学PBLにおける相互評価・自己評価の導入 : テーマの自主設定と表示・討論スキルに注力した2回生へのPBL教育(第3報)(工学教育の個性化・活性化V,第25セッション)
- 豪州乾燥地の土壌中浸潤シミュレーション
- 概要設計を目的とした基板加熱型 CVD 反応器のモデル化
- 常圧熱CVDによるAlN/TiN複合系成膜反応機構の解析
- Computer Aided Reaction Designを用いたCVDにおける問題解決へのアプローチ
- 常圧熱CVDによるAlN膜合成における配向性の制御
- Micro-Trench法によるAPCVDにおける表面反応速度定数の測定
- 課題先進国日本 : エネルギーと環境の視点から
- 課題先進国日本のエネルギー政策
- 東京大学のアクションプラン-新教育の構築に向けて
- 学者が斬る(318)サステイナビリティ学への挑戦
- 化学工学を見つめ直す
- 意思の時代です
- 化学工学論文集「地球環境とリサイクル」特集号に寄せて
- ヒートポンプ・蓄熱センター 小宮山宏理事長 Interview ヒートポンプの世界普及と再生可能エネルギー (特集 ヒートポンプ最新動向)
- トップ討論 環境立国戦略と企業経営 世界で評価される日本とは (日経BP環境経営フォーラム トップミーティング 経営者ら20人の日本の環境戦略論)
- 中曽根大勲位vs.小宮山宏 前東大総長 三菱総研理事長 原子力の次は太陽光だ
- 三菱総合研究所理事長 小宮山宏 復興ビジョンの要諦 中央集権だけではやっていけない時代。現地の発想を!
- リン酸処理したH-ZSM-5触媒を用いたプロピレン高選択性による Methanol-to-olefin 反応
- BaCeO3電解質を用いた固体酸化物燃料電池燃料極反応機構の解析
- 総長インタビュー 東京大学 「課題解決先進国」にふさわしい創造性あふれる人材を養成する
- 奉天--児玉源太郎の「参謀力」 (「坂の上の雲」--日本人の勇気(総集編)) -- (特別対談 現代に生きる三大決戦の「日本力」)
- エコプロダクツ2009記念シンポジウム 基調講演 課題先進国日本--低炭素社会への取り組み (エコプロダクツ展特集 問い直せ,日本の力 ソーシャルパワー元年)
- 三菱総合研究所理事長 小宮山宏選! エネルギー問題を学ぶための7冊 (特集 2011年夏/経済書・政治書ベスト35)
- 銅–シリコン溶液を用いた太陽電池用多結晶シリコン薄膜の製造プロセスの設計とコスト評価
- 21 世紀エネルギー戦略 : 提案と実現の時代へ(21 世紀のエネルギー技術戦略)
- 対談 「課題先進国」日本の競争力と大学の役割 (挑戦する教育立国・日本)
- 「課題先進国」日本のまちづくり (特集 低炭素型都市づくりの推進)
- 環境化学工学