半導体層間絶縁膜としての周期構造ポーラスシリカ膜の合成
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概要
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- 日本膜学会事務局の論文
- 2003-07-01
著者
-
江頭 靖幸
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
上山 惟一
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
西山 憲和
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
田中 俊輔
関西大学
-
田中 俊輔
大阪大学大学院工学研究科地球総合工学専攻
-
奥 良彰
産業技術総合研究所 半導体miraiプロジェクト
-
西山 憲和
大阪大学基礎工学部
-
江頭 靖幸
大阪大学大学院 基礎工学研究科 物質創成専攻化学工学領域
-
江頭 靖幸
大阪大学
-
上山 惟一
大阪大学大学院基礎工学研究科物質創成専攻化学工学領域
-
上山 惟一
大阪大学大学院 基礎工学研究科
-
西山 憲和
大阪大 大学院基礎工学研究科
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