高周波スパッタ法によるSi-Fe-N系薄膜の作製および熱分解反応による磁性微粒子の析出

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概要

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• 粉体粉末冶金協会の論文
• 1998-01-15

著者

• 高橋 昌男

  阪大産研

• 吉川 信一

  大阪大学産業科学研究所

• 吉川 信一

  阪大産研

• 吉川 信一

  北海道大学大学院工学研究科

• 高橋 昌男

  大阪大学産業科学研究所

• 杉山 秀幸

  大阪大学産業科学研究所

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