1D22 高周波スパッタ法による Fe/MN(M=Al, Nb) 多層膜および AlN 絶縁層を挟む Ni-Fe 系トンネル接合の作製
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概要
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- 日本セラミックス協会の論文
- 2000-10-11
著者
-
廣田 健
同志社大工
-
廣田 健
同志社大学理工学部機能分子・生命化学科
-
吉川 信一
北海道大学大学院工学研究科
-
廣田 健
同志社大学工学部機能分子工学科
-
吉川 信一
北大院工
-
Adikary K.
北大院工
-
佐伯 功
北大院工
-
出口 恭介
同志社大工
-
榎本 真介
同志社大工
-
山口 修
同志社大工
-
榎本 真介
大阪大学産業科学研究所
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