反応性同時スパッタ法によるFe-Al-N系薄膜の作製とアニール効果
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概要
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- 粉体粉末冶金協会の論文
- 1997-07-15
著者
-
高橋 昌男
阪大産研
-
吉川 信一
大阪大学産業科学研究所
-
金丸 文一
大阪大学産業科学研究所
-
吉川 信一
阪大産研
-
吉川 信一
北海道大学大学院工学研究科
-
高橋 昌男
大阪大学産業科学研究所
-
藤木 充司
大阪大学産業科学研究所
-
金丸 文一
新潟大学
-
金丸 文一
大阪大学産業科学研究所教授
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