3G07 高周波スパッタ法によって作製した Zn-Ge 系窒化物薄膜の物性

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 1999-10-06

著者

• 吉川 信一

  大阪大学産業科学研究所

• 吉川 信一

  北海道大学大学院工学研究科

• 高橋 昌男

  大阪大学産業科学研究所

• 森坂 英昭

  大阪大

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