高周波スパッタ法によるFe/AlN多層膜の成膜条件と物性

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概要

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• 粉体粉末冶金協会の論文
• 1998-03-15

著者

• 山口 修

  同志社大学工学部機能分子工学科

• 廣田 健

  同志社大学理工学部機能分子・生命化学科

• 高橋 昌男

  阪大産研

• 吉川 信一

  大阪大学産業科学研究所

• 吉川 信一

  阪大産研

• 吉川 信一

  北海道大学大学院工学研究科

• 廣田 健

  同志社大学工学部機能分子工学科

• 高橋 昌男

  大阪大学産業科学研究所

• 榎本 真介

  大阪大学産業科学研究所

• 山口 修

  同志社大学工学部

• 廣田 健

  同志社大学 理工学部 機能分子・生命化学科

• 廣田 健

  同志社大学理工学部機能分子生命化学科

• 山口 修

  同志社大学

• 廣田 健

  同志社大学

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