高周波スパッタ法によるFe/AlN積層膜の作製と磁性

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概要

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• 粉体粉末冶金協会の論文
• 1996-12-15

著者

• 高橋 昌男

  阪大産研

• 吉川 信一

  大阪大学産業科学研究所

• 金丸 文一

  大阪大学産業科学研究所

• 那須 三郎

  大阪大学基礎工学研究科

• 吉岡 秀樹

  兵庫県工技セ

• 吉川 信一

  阪大産研

• 吉川 信一

  北海道大学大学院工学研究科

• 那須 三郎

  大阪大学基礎工学部物性物理工学科

• 高橋 昌男

  大阪大学産業科学研究所

• 吉岡 秀樹

  兵庫県立工業技術センター

• 藤木 充司

  大阪大学産業科学研究所

• 樋野村 徹

  大阪大学基礎工学部

• 樋野村 徹

  大阪大学大学院

• 金丸 文一

  新潟大学

• 金丸 文一

  大阪大学産業科学研究所教授

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