1E13 スパッタ法による c-BN 析出と AIN 膜の下地効果

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本セラミックス協会の論文
• 1992-05-20

著者

• 金丸 文一

  阪大産研

• 吉川 信一

  阪大産研

• 金丸 文一

  新潟大学

• 高橋 真理

  阪大産研

関連論文

• λ-MnO_2表面水酸基のナトリウムイオン交換吸着特性
• 層状ペロブスカイト類似型化合物Ba_(Pb_Cu_)O_の合成と物性
• ペロブスカイト類似型Ba-Pb-Cu-O系新化合物の合成と性質 (酸化物超伝導物質と材料)
• (Ln,Ce)2CuO4系におけるアニ-ル効果 (酸化物超伝導物質と材料)
• 30p-PSB-26 新しい鉄窒化物FeN_の磁性
• 5p-H-9 FeNx(X=0.25〜0.98)合金のメスバウアー効果
• (Pb, Cu)(Sr, La)_2(Gd, La)_2Cu_2O_z, (Bi, Cu)Sr_2(Er, Ce)_2Cu_2O_zの示す弱い超伝導性
• 31p-L-4 Bi-2222相の超伝導とマイクロ波磁気吸収
• 層間化合物の構造と機能 (分子集合体--その組織化と機能) -- (層状組織体の形成と機能)
• 51. モンモリロナイト層間に吸着されたアクリロニトリルの重合
• 50. モンモリロナイトへのアクリロニトリルの吸着特性
• 立方晶スピネル型銅マンガナイトCu_xMn_O_4(1.0≦x≦1.5)の合成とリチウム挿入反応
• 微小重力場中における水溶液からの金属塩の析出
• 均一液相法によるZnO-In_2O_3系透明導電物質の低温合成
• 高周波スパッタ法によるFe/AlN多層膜の成膜条件と物性
• RF-スパッタ法によって合成されたTi_Al_xN薄膜の耐酸化性(セラミック材料小特集)
• 構造が決定する機能--磁性 (機能性セラミックスの設計) -- (セラミックスの機能発見の機構)
• 高周波スパッタ法によるFe/AlN積層膜の作製と磁性
• 2A01 (Ln, Ce)_2CuO_4 T' 相における Ln 置換と酸素分布
• α鉄のアンモニア窒化による窒化鉄Fe_xN(x : 2, 2-3, 4, 16/2)の合成とFe_N_2バルク試料の磁性
• イオン注入法による窒化鉄の生成
• 磁気スピントンネル接合に用いる強磁性Fe-Ni薄膜の作製と磁気的性質
• 1173-1373KにおけるFe-19Cr-0.2Tiステンレス鋼の高温酸化
• SrCN_2多形のアンモニア窒化合成と構造変化(秋季シンポジウム若手研究者論文)
• グリシン,尿素を燃料に用いた希土類アルミン酸塩のゲル化燃焼合成(希土類系物質の精密合成,形態制御および機能物性)
• 低温窒化法によるFe_N_2生成反応の粒子径依存性
• ドラッグデリバリーを目指したハイドロタルサイトの高機能化
• モリブデン酸ゲル化法によるSr_2FeMoO_6の合成と磁気抵抗効果
• 低温窒化法によるFe_N_2の合成
• スピネル型二酸化マンガン(λ-MnO_2)トンネルサイトへの水溶液からのリチウムイオン取込反応速度のモデル化
• 層構造をもつ四チタン酸のアルカリ金属イオン交換反応特性
• (La_Ln_x)_2O_2CN_2(Ln=Pr, Sm, Eu, Tb)の合成と蛍光特性
• セラミックスや合金の転換電子収量XAFS(セラミック材料)
• ハイドルタルサイト担持フィルターによるCO_2の可逆分離
• 巨大磁気物性と高密度記録 (特集 巨大機能物性を生むセラミックス)
• 層状無機物質における新機能性 (特集 先進機能性材料の話題)
• 積層および分散型窒化鉄系傾斜磁性材料
• スパッタ成膜した窒化物薄膜のHeイオン収量XAFS法による局所構造解析(セラミック材料)
• 高周波スパッタ法によるSi-Fe-N系薄膜の作製および熱分解反応による磁性微粒子の析出
• 無機層状物質の創製に関する研究
• インタ-カレ-ション材料の形態制御 (特集 インタ-カレ-ション)
• 反応性同時スパッタ法によるFe-Al-N系薄膜の作製とアニール効果
• ソフト化学法によるLa_2Ca_Cu_nO_の合成と電気化学的酸素ドープ
• 無機化合物における層状ナノ・メゾ複合化
• 遷移金属を含む複窒化物(Nb_Ga_x) N, ANiN およびA_3CoN_3 (A : アルカリ土類金属)の生成
• Y-Ba-Cu-O系超伝導体と電気光学結晶との反応性(セラミック材料小特集号)
• 30a-BA-8 遷移金属ミカルコゲン化物の高圧合成
• 層状化合物NaCrO_2の脱ナトリウム反応生成物の性質(インターカレーションの機構と物性(第2回),科研費研究会報告(1981年度))
• 13.(Mg, Al)および(Ni, Al)混合水酸化物の合成
• 瀬戸産"呉須"(磁器染付用顔料)
• 電荷移動型無機層状化合物 (1993年の化学-8-)
• 26p-PSA-25 Sr_La_xCuO_2の抵抗異常
• 3G12 希土類酸窒化物の合成と熱的安定性
• 1E13 スパッタ法による c-BN 析出と AIN 膜の下地効果
• 30p-A-3 Sr_La_xCuO_2のHall係数と熱電能
• 反応性スパッタ法で作製したCu_3N-TiN系窒化物薄膜の電子状態
• 26a-W-13 回転自由度をもつSO_4アニオン副格子内のアルカリイオン伝導
• 4a-M-5 (Na^+,Li^+)(ClO_4^-,SO_4^,S_2O_3^)固溶体結晶のイオン伝導性
• 30a-P-5 LiNaSO_4-Na_2SO_4系六方晶相の高イオン伝導性
• Ln2CuO4におけるT′およびT※相の合成と物性 (酸化物超伝導体の材料プロセス化と特性評価)
• Sr-monoferriteとその磁性 : 磁性(酸化物)
• (Bax・Sr_)O・Fe_2O_3の結晶構造と磁性 : 磁性
• 2a-K-1 NiFe_2O_4-Fe_2O_3固溶体の格子常数変化と過剰Fe_2O_3の役割
• 8p-G-9 Ferrite-Fe_2O_3固溶体に於ける過剰Fe_2O_3の挙動
• 1p-A-10 高酸素圧下で生成した(Ca_xSr_)FeO_
• 11.Cu-モンモリロナイトによるアミノ酸の吸着
• 10.アミノ酸-モンモリロナイト複合体の水熱合成
• 高周波スパッタ-法によるNaβ-アルミナ薄膜の作製とイオン伝導
• マンガンラスター釉の虹彩現象と析出結晶
• オパールラスター釉の虹彩現象と析出結晶
• アモルファスセラミックス (セラミックスのファイン化)
• ペロブスカイト類似型Ba-Pb-Cu-O系新化合物の合成と性質
• 大学における自己点検・評価に思うこと
• (Ln, Ce)2CuO4系におけるアニール効果
• Ln2CuO4におけるTおよびT*相の合成と物性
• 17.Cu-モンモリロナイト-TCNQ複合体の作成と性質
• 新規な複金属窒化物の合成と結晶構造および物性に関する研究
• 4.数種の珪酸塩ガラスおよび珪酸塩結晶の磨砕による変化について(研究発表講演要旨)
• シンポジウム-粘土複合体の新展望-を司会して
• 水や大気に曝されたセラミックス表面のキャラクタリゼ-ション (水とセラミックス)
• セラミックスの新しい担い手--金属窒化物 (1990年の化学-8-)
• 不定比酸化物の構造 (不定比酸化物の構造,物性,触媒作用)
• セラミック薄膜の製造プロセスと評価
• 無機固体薄膜の作製と評価--固体電解質膜
• アモルファス物質の磁性 (無機アモルファス材料) -- (新しい性質と応用)
• 粘土有機複合体の作成と構造
• EXAFS及びXANESによる岩塩型AgBr1-xIx固溶体の局所構造解析
• タイトル無し
• タイトル無し
• タイトル無し
• 31a-PS-12 薄膜β-アルミナの表面波(SAW)吸収(音波物性・音響ポスターセッション)
• 29a-PS-5 β-アルミナ中のNa^+イオンの緩和時間のSAW素子による測定(29a PS 音波物性・音響)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク