阿部 真理 | 日本電気株式会社システムデバイス研究所
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概要
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NECエレクトロニクスLSI基礎開発研究所
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NECエレクトロニクスLSI基礎開発研究所
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NECシステムデバイス研究所
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NECシステムデバイス研究所
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植木 誠
日本電気株式会杜
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植木 誠
東北大学:(現)新日本製鐵(株)
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小田 典明
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井上 尚也
ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部
著作論文
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- 低酸素Cu合金を用いた45nm世代LSI対応デュアルダマシン配線(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)