めっき銅薄膜配線ストレスマイグレーション支配因子の解明 (高密度実装を牽引する材料技術とヘテロインテグレーション論文特集)

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概要

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著者

• 玉川 欣治

  東北大

• 斉藤 直樹

  東北大工

• 村田 直一

  東北大

• 齋藤 直樹

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

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