銅めっき薄膜機械特性の微細組織依存性 (特集 マイクロマテリアル)

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概要

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• 日本材料学会の論文

著者

• 玉川 欣治

  東北大

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• P58 Cu薄膜の機械特性変化支配因子の検討(薄膜,ポスター講演3)
• 1469 微細三角形貫通孔形成による銅メッキニ軸応力場測定の高感度化(S20-6 応力・ひずみ分布計測法(2),S20 実験力学的手法による材料・製品の評価)
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• 220 微細貫通スリット形成による銅メッキ膜応力測定法の感度向上(材料力学 IV,2.学術講演)
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• 配線用銅薄膜機械特性の製造方法依存性の検討
• 微細スリットを形成した銅メッキ膜を用いた二軸応力場測定方法の検討(材料力学I-2)
• 微細スリット形成銅メッキ膜を用いた応力測定法の感度(S05-4 薄膜・微細構造物の機械特性評価,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
• 銅メッキ膜応力測定法における微細スリット形状の最適化(S05-4 薄膜・微細構造物の機械特性評価,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
• 211 銅メッキ膜応力測定法感度に及ぼす微細スリット構造の影響(材料力学II)
• 123 繰り返し負荷による銅めっき膜中の結晶成長メカニズム(材料力学I)
• 113 めっき銅薄膜強度物性のナノスケール微細組織依存性(学生賞III)
• 210 微細スリットによる鋼メッキ応力測定法の感度向上メカニズム(材料力学II)
• 209 微細スリット制御による銅メッキ応力測定法の感度向上
• J0601-3-1 めっき銅薄膜配線の強度信頼性に及ぼす微細組織の影響([J0601-3]電子情報機器,電子デバイスの強度・信頼性評価と熱制御(3))
• OS0620 めっき銅薄膜疲労強度特性に及ぼす結晶粒界性状の影響(OS06-05 材料強度の発現機構,OS06 微視構造を有する材料の変形と破壊(3))
• 315 繰り返し負荷を受ける微細四角形貫通孔形成銅めっき膜の結晶成長メカニズム(OS2-3 皮膜・薄膜の環境強度,OS2 薄膜・皮膜とその膜構造の特性評価)
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